傳統(tǒng)牽引分子泵的結(jié)構(gòu)簡單、工作壓強高、排氣流量大，然而，在分子流狀態(tài)下抽速僅為渦輪分子泵的5%，加上動輪和靜輪之間的工作間隙小，一般在0.1 mm以下，制造困難，粉塵以及熱脹都會影響泵的正常運行。分子增壓泵作為新一代產(chǎn)品化的真空泵，該泵是一種兼有中、高真空泵的雙重性能、能耗低、能獲得清潔真空，還能承受大氣沖擊，應(yīng)用前景十分廣泛。

　　1.分子增壓泵的結(jié)構(gòu)

　　分子增壓泵由泵殼、轉(zhuǎn)子、端蓋、軸承、2個靜輪、動密封輪、3個柱面靜輪等組成。采用雙重分子牽引結(jié)構(gòu)，轉(zhuǎn)子由平圓盤和柱面構(gòu)成，無任何葉片。

　　2.分子增壓泵的性能

　　(1)能承受大氣沖擊。渦輪分子泵高速運行時，若受到大氣沖擊，往往造成葉片嚴重損壞(俗稱剃光頭)。分子增壓泵不僅取消轉(zhuǎn)子的全部葉片，簡化動輪結(jié)構(gòu)，提高運行的可靠性。而且，平盤動輪的內(nèi)側(cè)設(shè)有大截面的連通氣孔，因此，發(fā)生大氣沖擊時，平盤動輪、2個靜輪、動密封輪的兩側(cè)均不會產(chǎn)生大的壓強差，從而，不會產(chǎn)生軸向形變，消除了動輪與靜止部件之間相擦的可能性。此外，轉(zhuǎn)子兩側(cè)柱面動輪剛度大，加上完全對稱，抵消了大氣的沖擊力，因此，受大氣沖擊時，泵轉(zhuǎn)子不會造成損壞。

　　(2)工作壓強高、排氣流量大。分子/增壓泵的工作機理屬于牽引分子泵，因此，具有牽引分子泵工作壓強高、排氣流量大等優(yōu)點。

　　(3)獲得清潔真空。分子增壓泵的抽氣通道在徑向和軸向多次折返，完全不透光，因此，前級油蒸汽返回高真空室的幾率大幅度低于渦輪分子泵。此外，分子增壓泵可以在大氣壓下短時間運行，因此，泵的電源切斷后，真空室可以直接注入保護氣體，有效地擋住前級油蒸汽對高真空室的污染。

　　(4)節(jié)能。在分子流狀態(tài)，分子/增壓泵的能耗與渦輪分子泵大體相同。但前級泵只有渦輪分子泵的1/4～1/2，加上可采用“沖洗抽氣工藝”，抽氣時間僅為渦輪分子機組的一半，因此，分子/增壓泵機組的總能耗僅為渦輪分子泵機組的25%，即節(jié)能75%。

　　(5)轉(zhuǎn)速低，軸承壽命長。分子/增壓泵采用獨特的結(jié)構(gòu)，泵的抽速提高至傳統(tǒng)牽引分子泵的30倍，高于相同轉(zhuǎn)速的渦輪分子泵的抽速。

　　(6)能制造大型泵。分子/增壓泵結(jié)構(gòu)簡單,易于制造抽速較大的大型泵。