機械增壓泵又稱羅茨泵或草鞋泵，是具有分子泵作用的一種容積真空泵。

　　機械增壓泵利用兩個“8”字形的轉(zhuǎn)子在泵殼中旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生吸氣和排氣作用，其原理和羅茨鼓風(fēng)機相似。由 于它在低壓強范圍內(nèi)工作，氣體分子自由程較大，氣體漏過微小縫隙的阻力很大，因而能獲得較高的壓縮比 ，故可以做為增壓泵使用。但它不能單獨地把氣體直接排到大氣中去，需要和前級真空泵串聯(lián)使用，被抽氣 體通過前級真空泵排到大氣中去。

　　1.機械增壓泵的工作原理：

　　機械增壓泵的工作原理主要是容積泵作用，同時也有分子抽氣作用。

　　(1)機械增壓泵的空積作用原理

　　工作時，被抽氣體由進氣口進入轉(zhuǎn)子與泵體之間，這時一個轉(zhuǎn)子和泵體把氣體與進氣口隔開，被隔開的 氣體在轉(zhuǎn)子連續(xù)不斷地旋轉(zhuǎn)過程中，被送到排氣口。V0空間是處于封閉狀態(tài)，因此沒有壓縮和膨脹。但當(dāng)轉(zhuǎn) 子的蜂部轉(zhuǎn)到排氣口邊緣時，由于V0部分的壓強較之排氣口處的壓強低，氣體就會從排氣口處擴散到V0區(qū)域 ，其擴散方向與轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)方向相反。當(dāng)轉(zhuǎn)子再轉(zhuǎn)動時，把V0處的氣體壓縮到排氣口將其排出。這時轉(zhuǎn)子的另 一面與進氣口相連部分則吸入氣體，當(dāng)轉(zhuǎn)子不斷地旋轉(zhuǎn)時，重復(fù)上述抽氣過程不斷地排出流進來的氣體。這 種工作過程相當(dāng)子轉(zhuǎn)子空間由某一最小值增加到最大值，然后再由最大值減小到最小值。

　　(2)機械增壓泵的分子作用原理

　　機械增壓泵在入口壓強很低情況下工作時，由于轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速很高，轉(zhuǎn)子表面的線速度接近子分子的熱運動 速度，這時碰撞在轉(zhuǎn)子上的氣體分子被轉(zhuǎn)子攜帶到壓強較高的排氣口，再被預(yù)抽真空泵排除。

　　機械增壓泵轉(zhuǎn)子的線型有很多種，如漸開線型、圓弧型，擺線型等，因漸開線型有較高的容積效率，采 用的最多。

　　羅茨泵在(10~10-2乇)很寬的壓強范圍內(nèi)有較大的抽速，能迅速排出突然放出的氣體，彌補擴散泵和油封 機械泵在10~10-2乇時抽速都很小的缺陷。雙級羅茨泵性能更好，從4—10-2乇壓強范圍內(nèi)達到滿抽速，極限 真空高達10-3乇以上。

　　2.機械增壓泵的特點：

　　(1)轉(zhuǎn)子與泵腔、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間有一定空隙，互不接觸，不需要用油潤滑。

　　(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，可以提高轉(zhuǎn)速(1000～3000轉(zhuǎn)/分)，因此可以制造出結(jié)構(gòu)緊湊、大抽速的泵。

　　(3)泵在工作時振動小。

　　(4)在泵腔內(nèi)不會象機械真空泵那樣發(fā)生壓縮現(xiàn)象，可以抽除可凝性氣體。

　　(5)啟動快，能在短時間內(nèi)達到極限真空。功率小，維護運轉(zhuǎn)的費用低。

　　機械增壓泵目前已廣泛作為主抽泵應(yīng)用在冶金、化學(xué)、電子、醫(yī)藥等工業(yè)以及空間模擬裝置中。在電光 源工業(yè)中，由于熒光燈具有體積大，排氣過程中放氣多等特點，所以國內(nèi)外的熒光燈自動生產(chǎn)線的圓排氣機 上都已采用機械增壓泵作為主抽泵代替了擴散泵。