油封式旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵按照結(jié)構(gòu)形式可分為定片式、旋片式、滑閥式、直聯(lián)式四種。

　　在檢漏技術(shù)中應(yīng)用最多的是旋片式和直聯(lián)式兩種。

　　旋片式真空泵國(guó)內(nèi)已有定型系列化產(chǎn)品，在它適用的真空度范圍內(nèi)，可以單獨(dú)使用，也可以與其他真空泵配套作為預(yù)真空抽氣設(shè)備。如用于抽除密封容積中的干燥氣體或含有少量可凝性蒸氣的氣體，用作油擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵的前級(jí)真空泵。旋片泵只能在環(huán)境溫度5～40℃范圍內(nèi)使用，不適用于抽除含氧過(guò)高的、有爆炸性的、對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)真空泵油起化學(xué)反應(yīng)的以及含有顆粒塵埃的氣體。

　　直聯(lián)高速旋片泵是在旋片泵的基礎(chǔ)上經(jīng)過(guò)結(jié)構(gòu)、材料和制造工藝上的改進(jìn)后產(chǎn)生的新泵種。旋片泵采用間接傳動(dòng)(帶輪或齒輪減速)，因而轉(zhuǎn)速低，體積大，質(zhì)量大，并有較大的來(lái)自減速器的振動(dòng)和噪聲。直聯(lián)泵采用直接傳動(dòng)，泵的轉(zhuǎn)速與電動(dòng)機(jī)相同，使抽速大大提高。對(duì)于相同抽速來(lái)說(shuō)，直聯(lián)泵具有體積小、質(zhì)量輕、振動(dòng)小、噪聲低等特點(diǎn)。適于安裝在精密儀器設(shè)備上使用，如氦質(zhì)譜檢漏儀。