渦輪分子泵的運用
發(fā)布時間：2016年08月18日 09:37 閱讀：4717
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澤德
渦輪分子泵正常工作需要小于10Pa的前置壓強，可用旋片式機械泵作為前級泵。渦輪分子泵有一專用的中頻電源，對泵內(nèi)的電動機供電，接通中頻電源后，幾分鐘內(nèi)可使泵的轉(zhuǎn)速到達額定值。泵的額定轉(zhuǎn)速因型號而異，一般在30000～50000r/min內(nèi)。立式泵需要垂直放置，泵內(nèi)承受高速旋轉(zhuǎn)的軸承，需要通以冷卻水冷卻。近年來出現(xiàn)了不使用水冷而使用風(fēng)冷、且可以水平放置的立式渦輪分子泵，使用更方便。
為達到分子泵的極限真空，應(yīng)對被抽容器和泵體進行烘烤。因泵內(nèi)的級間連接部分是用橡膠密封的，故泵體的烘烤溫度不能太高，為100～120℃。真空系統(tǒng)充分除氣后可得到10-6～10-7Pa的極限壓強。
渦輪分子泵對分子相對質(zhì)量大的氣體壓縮比大，故極限真空主要決定于分子相對質(zhì)量小的氣體成分，如H2、He等。此外，容器及泵體放出的水汽也是影響極限真空的重要因素。
由于具有高速旋轉(zhuǎn)的部件，渦輪分子泵不能在磁場下運用，因為這會產(chǎn)生渦流導(dǎo)致發(fā)熱、葉片變形等效果。一般允許的雜散磁通密度為0．004～0．0llT。
渦輪分子泵內(nèi)各輪葉之間、動輪葉與泵壁之間的空隙都只在lmm左右，因此工作時應(yīng)嚴格防止異物進人泵內(nèi)，避免高速旋轉(zhuǎn)的鋁制葉片被打壞。
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