油擴散泵基本構(gòu)造和工作原理
發(fā)布時間：2016年02月23日 09:28 閱讀：6868
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澤德
油擴散泵是一種蒸氣流泵，它在10～10-7Pa的壓強范圍內(nèi)有較大抽速，是目前生產(chǎn)中最常用的高真空泵，它結(jié)構(gòu)簡單，使用維護都很方便，不易損壞，壽命長。
油擴散泵的電加熱器供熱，泵液即用以工作的油產(chǎn)生蒸氣沿中心導管上升至各層的傘形噴嘴噴出，形成一定方向的射流，當殘余氣體分子擴散到油蒸氣流中，經(jīng)過碰撞就和濁蒸氣有相同的方向和速度，氣體分子即被推送壓縮，至前級泵抽空系統(tǒng)而排出。故每一個噴口就進行一次壓縮，各噴口處的壓強都不一樣，越往上越低。油蒸氣撞到泵的水冷壁即被冷凝成液態(tài)流到泵底。油在其中蒸發(fā)一冷凝，不斷循環(huán)。
此種泵所適用的油蒸氣壓只有幾十帕，所以要在10-1Pa壓強下才能工作，用前級泵來創(chuàng)造這種條件。
在上部進口處設水冷擋板，可以使上逸的油蒸氣凝結(jié)流下，以達到更低的壓強，減少油蒸氣返流到真空室內(nèi)。
泵中所用的油的性質(zhì)對泵的性能有很大作用，應當認真選擇擴散泵油。一般要求泵油在室溫下飽和蒸氣壓盡量低，在它的沸騰溫度下(泵內(nèi)的壓強時)蒸氣壓又較高；在工作中油較穩(wěn)定，不易被氧化，能長時間使用，且價格較低。
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