爪形轉子干式機械真空泵介紹

爪形轉子干式機械真空泵(又簡稱爪式泵)在泵殼內具有兩個共軛嚙合的爪形轉子。與羅茨真空泵類似，轉子由一對同步高精度齒輪來帶動旋轉并固定相位。轉子型線由六段擺線和圓弧組成，轉子之間及轉子與泵殼之間并不接觸，留有微小的間隙。氣體的進氣口和排氣口均設在泵殼的端面上，分別由兩個轉子端面周期性的定時開閉，具有閥的調節(jié)作用。爪形轉子干式機械真空泵的整機型式分為立式和臥式兩種。臥式結構以英國愛德華公司開發(fā)的一級羅茨轉子加上三級爪形轉子的DP80型機械真空泵為代表。羅茨轉子為高真空吸氣級，爪形轉子為壓縮排氣級，這樣安排可以在低入口壓力下得到大抽氣速率。其極限壓力可達1Pa以下。

這種結構的泵特點是整機重心低，各級轉子與隔板之間的間隙易于調整。為了在低壓下獲得較大抽速，泵的羅茨吸氣級要做得比爪形排氣級大50%。為了避免泵在粗抽期間產生組間“過壓”，在羅茨及中間爪型級之間設有較大的傳輸空間作為壓力緩沖空間。另外還可以安裝級間過壓安全閥以保證工作可靠。為了有助于抽除水蒸汽，在泵的排氣級設置了氣鎮(zhèn)閥。泵的傳動型式與羅茨真空泵相同。

通過以上分析可知，爪形轉子干式機械真空泵同時具有羅茨真空泵和旋片真空泵的優(yōu)點。

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